Shipley光刻胶相关论文
基于曝光和显影理论对shipley光刻胶显影速度随曝光量的变化进行研究,得到其数学表达式.通过改变激光波长以及曝光量,显影液的温度......
对瑞红胶及Shipley胶制作光栅掩模时的有效曝光量进行了实验.结果表明瑞红胶全息曝光对应的感光效率只是单束光曝光感光效率的0.65......
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