建立了Si(100)-(2×1)表面上Si薄膜生长的Kinetic Monte Carlo(KMC)模型,并对薄膜生长的初始阶段进行了研究.结果表明:在一定的入......

建立了沿Si（100）方向外延生长亚单层Si薄膜的动力学蒙特卡罗模拟模型，对二维Si薄膜的生长过程及二维Si岛的形貌演变进行了研究。结果......