SiC:Al 相关硕士博士期刊学术论文

用MOCVD方法在Si基片上生长了Al掺杂的SiC薄膜,发现三甲基铝（TMA）源载气流量与硅烷流量之比的大小,会决定薄膜的导电类型。用XPS方法......