SiC非晶薄膜相关硕士博士期刊学术论文

本文用磁控溅射法（RMS）制备了SiC非晶薄膜，并对其进行了退火处理。用时M观察了薄膜的表面形貌，测量了薄膜的厚度、方块电阻和电阻-温度......