在Pt/TiO/SiO/Si衬底上,用金属有机物分解法(MOD)制备了SrBiTaO(SBT)铁电薄膜.研究了SBT薄膜的晶体结构,表面形貌以及它的电学性能......

该文采用溶胶-凝胶法合成了SrBiTaO（SBT）粉体,并在Pt/Ti/SiO/Si基片上制备了SBT铁电薄膜.通过差热-热重分析（DSC-TG）、X射线衍射（XRD）、X......