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TFD模型相关论文

不锈钢和Ti基体上Cu，Ag，Ni膜中的内应力研究

用电镀工艺在不锈钢基体上镀制了Cu,Ag,Ni膜和Ti基体上制备了Ni膜,并用悬臂梁法和X射线法测量了膜中的残余应力.并基于改进的TFD模......

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薄膜内应力悬臂梁法电子密度 TFD模型 film internal stress cantilever beam method electron d

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