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TMGa流量对玻璃衬底上低温沉积GaN的影响
采用电子回旋共振-等离子体辅助增强金属有机物化学气相沉积两步生长法在玻璃衬底上低温沉积GaN薄膜。利用原位反射高能电子衍射、......
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GaN
TMGa流量
化学气相沉积
玻璃衬底
低温
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