TaVN复合膜相关硕士博士期刊学术论文

采用多靶磁控溅射技术，在Si(100)和不锈钢基片上，采用不同负偏压沉积一系列TaN单层膜，采用不同V靶功率制备一系列不同V含量的TaVN复合......