Ti-Zr-O薄膜相关硕士博士期刊学术论文

金属氧化物薄膜常被用作气体探测器。为了制备氧化物薄膜，普遍采用化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)法。对于工业化生产，这些方......