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超高真空蒸发沉积酞菁铜薄膜的X光电子谱研究
在XPS分析室内利用超高真空蒸发方法在单晶硅衬底上沉积酞菁铜薄膜,并利用X光电子谱(XPS)作原位分析,研究酞菁铜薄膜的沉积规律,并讨论了不同条......
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