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光敏性杂化SiO2波导薄膜的制备、表征及应用

利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶（sol-gel）SiO2材料，在预生长了18μm厚的SiO2上包层的硅基片上旋涂成膜。经前烘、紫外曝......

期刊

溶胶-凝胶紫外光直写杂化光波导分束器 sol-gel UV-lightimprinting hybridization optical waveg

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