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V型微槽相关论文
光纤接头V型微槽超精密机床的误差预估
误差预估是超精密机床设计中的重要环节,在系统的设计阶段用来预测和控制超精密机床的总误差。首先介绍了误差预估在超精密机床设......
期刊
误差预估
超精密机床
V型微槽
error budget
ultra-precision machine tools
V-groove
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