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W-C-N复合膜相关论文
W-N单层膜、W-C-N复合膜及Ti-Al-Si-N/W-N多层膜的制备、微结构和性能研究
本论文采用反应磁控溅射制备了W-N单层膜、W-C-N复合膜和Ti-Al-Si-N/W-N多层膜,研究了氮气流量对W-N单层膜的微结构、力学性能及摩......
学位
W-N单层膜
W-C-N复合膜
Ti-Al-Si-N/W-N纳米多层膜
显微结构
力学性能
摩擦磨损性能
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