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X射线反射镜相关论文
用吸收材料构造多层膜
The strong absorption of materials in the extreme ultraviolet (EUV) above ~50 nm has precluded the development of effici......
期刊
多层膜
极紫外
X射线反射镜
空间光学
光刻术
230.4170
260.7200
340.7470
350.6090
220.3740
高精度X射线反射镜加工关键技术研究
同步辐射光源具有高通量、高亮度、宽频谱等独特性能,被广泛应用于众多前沿科学领域,并取得了一系列的重大科研成果。近年来随着即......
学位
离子束修形
X射线反射镜
高度加工模式
斜率加工模式
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驻留时间求解
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