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ZST薄膜相关论文
(Zr,Sn)TiO<,4>薄膜的制备与性能研究
随着介电薄膜在动态随机存取存储器(DRAM)以及单片微波集成电路(MMIC)上的广泛应用,探索新的高介电常数,低介电损耗及热稳定性良好......
学位
ZST薄膜
射频磁控溅射
取向生长
光学参数介电薄膜
微波介电性能
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