ZnOp-Si异质结相关硕士博士期刊学术论文

采用磁控溅射和二维胶体模板相结合的方法,溅射气压为2.5 Pa时,在p-Si衬底上制备了40 nm厚的ZnO多孔纳米薄膜.同时采用磁控溅射方......