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ZnOGa2O3薄膜相关论文

ZnO/Ga_2O_3膜的氨化温度对制作硅基GaN纳米材料的影响(英文)

通过在不同温度下氨化ZnO/Ga2O3膜,在Si衬底上成功制备了GaN纳米结构材料。氨化前,ZnO层和Ga2O3膜分别通过射频磁控溅射法依次溅射......

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纳米材料 GaN ZnO/Ga_2O_3 ZnO/Ga2O3薄膜纳米结构材料挥发射频磁控溅射法纤锌矿射频磁控溅射傅里叶变换

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