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ZrNWN纳米多层膜相关论文
ZrN、WN的调制比例对ZrN/WN纳米多层膜结构与机械性能的影响
利用射频磁控溅射系统制备了调制周期Λ等于30 nm的一系列具有不同调制比例的ZrN/WN纳米多层膜.X射线衍射仪、表面轮廓仪及纳米力......
会议
射频磁控溅射
ZrN/WN纳米多层膜
调制比例
氮化物
弹性模量
多晶结构
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