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a—C:F:H薄膜相关论文

a—C：F：H薄膜的化学键结构

使用CF4和CH4为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法,制备了a-C:F:H薄膜样品.采用拉曼光谱仪、傅里叶变换红外光谱仪、X射......

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a—C:F:H薄膜等离子体增强化学气相沉积低介电常数化学键 a-C ： F ： H thin films plasma enhanced chemica

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