a-硅∶氧∶氢相关硕士博士期刊学术论文

采用ａ－Ｓｉ∶Ｏ∶Ｈ对硅平面三极管表面进行二次钝化，可以使器件正向特性曲线明显变平，饱和区、截止区变窄，反向击穿特性显著变硬，击穿电压有所提......