a-C:H(Al)薄膜相关硕士博士期刊学术论文

目的研究离子源功率对a-C：H（Al）薄膜结构及性能的影响。方法采用阳极离子源离化CH_4气体,中频磁控溅射Al靶,通过改变离子源功率,在n......