a-C:H(N)薄膜相关论文
采用射频-直流等离子增强化学气相沉积法用C2H2与N2的混合气体制备了a-C:H(N)薄膜,用动物急性实验法和细胞毒性实验法研究了a-C:H(N)薄膜的生物相容性。结果......
采用射频-直流等离子增强化学气相沉积技术用C2H2和N2气的混合气体制备出a-C:H(N)薄膜,用TEM、红外谱、XPS等多种分析测试手段研究了薄膜的结构。结果表明......
采用C2H2和N2的混合气体在单晶Si衬底上用射频-直流等离子化学气相沉积法制备a-C:H(N)薄膜,用Fourier红外谱研究了a-C:H(N)薄膜的结构。用慢正电子湮没技术研究了类金......