a-SINx:H膜相关硕士博士期刊学术论文

本文介绍了PECVD法制备的α—SiN_x:H薄膜的热退火释氢特性及其红外吸收光谱,在退火温度T≤350℃时,膜中Si-H和N-H健均具有良好的......