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薄膜生长初期岛形貌转变的模拟研究
用Kinetic Monte Carlo(KMC)方法实现了(001)衬底上薄膜生长初始阶段岛形貌的模拟。在模型中考虑了原子沉积、吸附原子扩散和绕岛运动......
期刊
蒙特卡罗
岛形貌
沉积速率
绕岛步数
Monte Carlo
island morphologies
deposition rate
around-isl
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