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化学溶液沉积法制备Nd和Sc/Al/(Sc,Al)共掺杂钛酸铋铁电薄膜的电性能研究
利用化学溶液沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底和700℃条件下分别制备了Nd和Sc/Al/(Sc,Al)共掺杂的钛酸铋薄膜Bi3.15Nd085Ti2.94Sc0.06O12(BNTSc......
期刊
铁电薄膜
共掺杂
BNT(Sc
Al)薄膜化学溶液沉积法
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cosubstitution
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