dichlorosilane相关论文
针对二氯二氢硅对多晶硅生长过程中的促进作用,介绍了一种从还原副产物中提纯二氯二氢硅和三氯氢硅混合物的新工艺.对比了新工艺和......
本文对二氯二氢硅反歧化反应在热力学上的可行性进行了理论研究；并借助计算机模拟，探讨了不同温度、压力和进料配比对二氯二氢硅在反......
