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微型线圈-铁芯结构传感器中聚酰亚胺的低成本刻蚀和平坦化方法
研究了预亚胺化温度、时间以及刻蚀时间对聚酰亚胺湿法刻蚀结果的影响。预亚胺化后2.5μm厚的PI-5型聚酰亚胺采用EPG 533型光刻胶......
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