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掺氮类金刚石薄膜的纳米力学及纳米摩擦特性研究
利用微波电子回旋共振化学气相沉积技术制备了不同氮掺杂量的类金刚石(DLC)薄膜,采用俄歇电子能谱仪、Raman光谱仪和Hysitron型纳......
期刊
类金刚石薄膜
氮含量
纳米力学性能
纳米摩擦特性
diamond-like carbon films
nitrogen content
nano-mecha
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