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a-SiCx:Hp-i结的电致发光
在以ITO薄膜为正极的透明导电玻璃上,利用PECVD方法进行B掺杂制备出具有p-i结的a-SiCx:H薄膜,然后在其上溅Al作为负电极形成“三明治......
期刊
a-SiCx:H薄膜
p-i结
PECVD
电致发光
a-SiCx : H film
p-i junction
PECVD
Electroluminesc
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