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微波退火法低温制备多晶硅薄膜晶体管
多晶硅薄膜晶体管以其独特的优点在液晶显示领域中有着重要位置.为了满足在普通玻璃衬底上制备多晶硅薄膜晶体管有源矩阵液晶显示......
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微波退火
低温晶化
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polycr
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