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三维样品相关论文

原子层沉积工艺制备催化薄膜厚度对生长碳纳米管阵列的影响

通过原子层沉积（ALD）工艺在硅基底依次沉积氧化铝缓冲层薄膜和氧化铁催化薄膜,然后利用管式炉进行水辅助化学气相沉积（WACVD）生长垂直......

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原子层沉积氧化铁水辅助化学气相沉积垂直碳纳米管阵列结构可控三维样品 atomic layer deposition iron oxide wate

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