亚表层损伤相关论文
纳米光学表面是指表面粗糙度均方根值在纳米尺度的光学表面，广泛应用于微电子领域以及光学仪器和装备领域。纳米光学表面加工缺陷主......
熔石英光学材料是一种高新技术产品,在现代各领域的应用越来越广泛,特别是航天航空等领域具有大量应用需求。由于其产品的制造难度......
熔石英光学材料是一种高新技术产品，在现代各领域的应用越来越广泛，特别是航天航空等领域具有大量应用需求，其制造成本和制造工艺的复......
传统光学工艺过程中，光学元件表面在研磨期间，由于工件切削力等因素的作用，会导致光学元件表面及内部产生裂纹；在抛光工艺之后这一系列......
光学表面的亚表层损伤严重影响着光学系统的抗激光损伤阈值、大型光学系统的成像及镀膜质量、系统的长期稳定性等重要性能,已经成......
光学零件的亚表面缺陷直接影响其使用性能和抗激光损伤阈值等重要指标，而造成这些危害的根本原因是由损伤层引入的入射光的散射。采......
在现代激光技术的应用发展中，光学元件在其制造过程中形成的亚表层损伤是导致激光损伤的主要根源之一。光学元件亚表层的检测方法已......
基于压痕断裂力学理论，建立了工件表面粗糙度与亚表层损伤深度的理论关系模型，用于预测磨削加工脆性光学材料引起的亚表层损伤深度。......
为保证聚焦离子束（FIB）制造微细零部件或微刀具等的加工表面使用性能和使用寿命,研究了使用FIB技术加工单晶金刚石超硬材料的亚表层......
针对无结合剂碳化钨材料,进行非球面模具的法向磨削试验研究.分析法向磨削非球面时的砂轮对刀误差对磨削精度的影响,研究无结合剂......
本文研究了磨削陶瓷材料时消除浅表损伤和增大材料去除率的技术.缺口型断裂试件试验表明间歇卸载可以在载荷方向的中央裂纹全面发......
随着集成电路集成度的不断提高,单晶硅太阳能电池转换效率的升高以及微纳机电系统的微型化、智能化、多功能化,单晶硅广泛应用于各......
为研究纳米压印中单晶铜亚表层晶体结构演变机理,采用分子动力学方法构建纳米压印仿真模型并模拟单晶铜纳米压印过程。采用改进的......
为了分析光学元件的加工工艺与亚表层损伤的关系,验证亚表层损伤/表面粗糙度比例预测模型的正确性,探索一种能够快速检测亚表层损......
纳米切削是纳米精度复杂面型加工的主要技术之一。对纳米切削机理的深入探索可为材料的纳米级切削技术的发展提供必要的理论基础,......
光学元件亚表层损伤严重影响了高功率激光器和大型光学系统抗激光损伤阈值、成像质量、镀膜质量及系统的长期稳定性。亚表层损伤现......
蓝宝石（α-Al2O3）凭借着其优异的材料特性,成为目前90%半导体光源的衬底材料。但是莫氏9级的硬度使得其成为典型的难加工材料。作为......
超精密加工技术是机械制造中的前沿和热点研究领域,在航空航天、武器装备、能源和医疗等方面显示出了重要的应用前景和战略价值。......
为了降低光学元件的亚表层损伤,提高光学元件的使用性能,本文提出了通过组合抛光的方法来降低光学元件亚表层损伤。在分析对比亚表......
学位
KDP (Potassium Dihydrogen Phosphate)晶体作为一种优良的非线性光学材料,被广泛应用于激光和非线性光学领域。经过加工的KDP晶体......
微结构光学功能表面因其所具有的特殊的光学性能在光电子、机械、航空航天等领域具有重要的应用价值，其批量化生产多采用复制模压技......
随着陶瓷、玻璃、半导体等硬脆材料在光学、航天、微电子等领域的广泛应用，其精密、超精密加工受到越来越多的重视。大磨粒金刚石砂......
微晶玻璃是现代工业发展中应用很广泛的光学材料,特别是在航空航天领域,有着举足轻重的地位。高精度、低损伤的微晶玻璃是制造大型......
随着民用和国防光学系统对高精度的光学元件需求的增加,在保证质量的前提下,光学元件的高效加工技术成为光学制造业研究的热点问题......
单晶硅在超大规模集成电路、柔性电子、红外光学和微纳机电系统等高科技领域应用日益广泛。传统主要采用机械化学抛光法使硅片表面......
为了降低大磨粒金刚石砂轮磨削光学玻璃时的亚表层损伤,利用纳秒脉冲激光对金刚石砂轮进行了表面微结构化加工,并采用该砂轮研究了......
为了实现对蓝宝石晶体的高效低损伤研磨加工,对蓝宝石晶体的双面研磨加工表面粗糙度、研磨均匀性和亚表面损伤层的深度进行实验研......
