六轴微力传感器相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

六轴微力传感器相关论文

微结构的静电力显微测量与力学特性测试技术的研究

该文探讨了面向微系统(MEMS)的微检测技术,内容分为两部分:一是基于微晶振的静电力显微测量技术;二是针对微小样品的热-机疲劳测试......

学位

微检测技术静电力显微镜扫描探针显微镜微石英晶振针式多力传感器六轴微力传感器六轴工作台

一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器

本文研制了一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器。首先采用有限元法对特定结构的传感器进行了静力学分析 ,确定了其布片方案 ;然......

期刊

六轴微力传感器 MEMS 有限元静力学六轴力/力矩传感器解耦标定曲线 six-dof-force/torque sensor FEA decoupl

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