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本文介绍了应用于单晶硅生长炉的分布式全自动控制系统，该系统能实现高精度的工艺控制。本文重点介绍了晶体生长工艺、系统控制方案......
北京京运通科技股份有限公司（以下简称“京运通”），成立于2002年8月8日，是一家以高端装备制造、新能源发电、新材料和节能环保4大产业......
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