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垂直电感相关论文
具备深背部通孔的砷化镓集成无源器件的制作技术
介绍一种具备深背部通孔特点的砷化镓无源器件制作的芯片滤波器,并对其射频特性进行了进一步的讨论。在背部通孔深度达到200μm且......
期刊
集成无源器件
砷化镓
深背部通孔
垂直电感
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