基底托架相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

基底托架相关论文

直流弧光放电PCVD金刚石膜制备中基底控温系统的研制与应用

基于直流弧光放电PCVD金刚石薄膜沉积设备的特点,设计开发了基底自动控温系统。将该系统应用于金刚石薄膜的制备中,并采用SEM、Ram......

期刊

直流弧光放电等离子体CVD 金刚石薄膜基底托架温度自动控制 DC arc discharge plasma chemical vapor depositi

看过本文同时还关注