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基片加热材料相关论文

MPCVD中基片加热材料的温度场摄动模型研究

为改进微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置中的加热系统,提出了用基片加热材料替代常规加热方式的新的技术路线;建立了基片加热......

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MPCVD 温度场基片加热材料化学气相沉积微波等离子体化学气相沉积摄动技术 substrate heating material chemical v

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