多晶硅纳米膜相关论文
多晶硅纳米膜是一种具有良好压阻特性的纳米材料,基于多晶硅纳米膜的压力传感器具有灵敏度高、动态响应好、精度高、稳定性好、易......
重掺杂多晶硅纳米薄膜具有良好的压阻温度特性,用它制作高温压阻式传感器灵敏度高、成本低,具有广阔的应用前景.为优化多晶硅纳米......
采用LPCVD和PECVD方法制作单层金属铝的多品硅纳米膜欧姆接触，并用X射线对其表征，说明铝膜具有多晶结构。在温度为450℃的条件下，分别......
基于微机电系统（MEMS）技术的加速度传感器因其性价比高、易于集成化而得到广泛应用,但在普通MEMS加速度敏感结构中仍然存在灵敏度和......
随着微机电系统（MEMS）技术的迅速发展，硅基加速度传感器已经得到广泛应用。但在敏感结构设计中，普遍存在灵敏度与固有谐振频率相互制约......
半导体压力传感器在现代科学技术发展与进步中发挥了重要的作用,所以人们有必要对压力传感器进行科学研究,进而提高压力传感器的性......
提出了一种基于牺牲层技术的高过载压力传感器芯片。这种传感器充分利用了多晶硅机械特性和多晶硅纳米膜的压阻特性优势,提高了传......
论文简述了微电子机械系统(MEMS)技术的发展概况,分析了国内外硅微压阻式加速度传感器研究取得的成果。详细介绍了超薄微梁压阻式......
传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志,它与通信技术、计算机技术构成现代信息产业的三大支柱。在各种半导体传感器中,硅压......
利用低压化学气相淀积法（LPCVD）在表面有热氧化二氧化硅的（100）硅衬底上生长80nm厚多晶硅纳米膜,并对其界面进行表征.制作出单层Al金属......
