详细介绍了微机械电子系统的内涵.内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域.还介绍了微机械电子系统加工工艺,阐明了其涉及的科......

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在当今经济社会高速发展的前提下,电子通信产业作为新型的高新技术产业在我国国民经济中占有重要的比重,成为衡量一个国家高新技术......

ME MS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的、可批量制作的微......

本文主要介绍微机电系统特点、发展方向、应用领域。 This article introduces the characteristics of MEMS, the development d......

微机电技术是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微机电系统(MEMS:Micro Elec......

微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术......