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用于微流控分析芯片的PMMA高聚物热雕刻技术研究
微流控分析芯片是一种多功能的微全分析系统(μ-TAS,micro total analysis system)。它利用微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechan......
学位
微流控分析芯片
MEMS
热雕刻
微流道
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