微细阵列电极相关论文
针对微细阵列轴和孔的电火花加工,提出了利用数控电火花加工机床摇动功能的摇动加工微细阵列轴和孔的方法。此法是基于电火花反拷......
介绍了微细阵列电极的应用情况及其电火花线切割加工的特点。以硬质合金为材料，采用电火花线切割加工方法进行了微细阵列电极的加工......
微细电加工技术因其非接触加工、材料适应性广、没有宏观作用力等优点,在微小零件的加工中具有独特的优势。微细电火花加工、微细......
随着MEMS技术及微细加工技术的发展,金属微细阵列网板得到了越来越广泛的应用,如电子显微镜的透光栅网、喷墨打印机的喷板、纺织机......
微细电火花加工技术在现代工业的某些领域中具有无可替代的优势。在目前的慢走丝电火花线切割机床中,大部分都是传统的四轴四联动,......
在微细加工领域,一般有LIGA、MEMS和微细电火花等加工方法。微细电火花加工的加工过程几乎不受宏观力作用,可加工所有导电材料,并......
学位
电解加工(Electrochemical Machining,ECM)是利用阳极溶解的原理实现金属成型的。这种微溶解的材料去除方式在微细制造领域有着潜......
为了解决 MEMS 工艺制备金属微电极阵列时,电极与基底结合力小,易脱落等问题,提出了基于 Over-plating 成型的过电铸法金属微电极......
期刊
针对目前MEMS工艺里由于微电铸铸层内应力导致的金属微结构与基底容易脱离的问题和不足,提出一种借助盲孔填充技术制备微电极阵列......
