晶向分布相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

晶向分布相关论文

(111)硅片上的高性能MEMS压阻传感器技术研究

硅基MEMS传感器已发展了半个多世纪，但即使在的商业化最为成功的压力、惯性传感器领域，仍有一些尚未解决的难题。超低量程的微差压传......

学位

硅基压阻传感器 (111)硅片晶向分布薄膜工艺谐振频率

不同晶粒尺寸和晶向分布多晶硅片弯曲应力的有限元模拟

采用光致发光晶向识别技术分辨多晶硅片晶向的分布情况,通过纳米压痕试验测试多晶硅片在不同晶向上的弹性模量;然后利用有限元方法......

期刊

多晶硅晶粒尺寸晶向分布弯曲应力纳米压痕

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