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活性源辅助沉积相关论文
特定气氛中的脉冲激光烧蚀及其在薄膜制备上的应用
1960 年,T.H. Maiman 成功地制造了世界上第一台红宝石激光器。此后的 40多年里,激光与物质的相互作用一直是相关领域基础研究的热......
学位
脉冲激光烧蚀
脉冲激光沉积
激光烧蚀等离子体
ECR 等离子体
活性源辅助沉积
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