电子散射模型相关论文
该文在国内首次全面、系统地对电子束曝光计算机模拟和邻近效应校正技术进行研究.论文的主要工作是建立一个电子束曝光Monte Carlo......
光刻技术是人类迄今所能达到的精度最高的的加工技术，常规的光学光刻技术对微电子工业的迅速发展起了巨大的推动作用，但是由于光的衍......
