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VDMOS均匀掺杂外延区的优化设计
本文通过外延区为均匀掺杂的VDMOS穿通击穿条件和外延区比导通电阻Ron的理论分析,首次得到了Ron随外延区参数、击穿电压变化的简捷普遍关系式.在......
期刊
VDMOS
突变结
外延层
击穿电压
导通电阻
不准确性
优化设计
经验关系
穿通
耗尽层
激光对硅片掺杂和退火的研究
集成电路正向高速、高集成度、高可靠性、低成本和低功耗方向发展,正在按比例缩小单元尺寸,因此迫切需要微细加工、薄层外延、低......
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表面浓度
激光退火
微波二极管
按比例缩小
方块电阻
热扩散
突变结
单元尺寸
微细加工
离子注入
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