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精密对准系统相关论文
一种基于零位光栅的二维自标定精密对准系统
随着超精密加工技术和测量技术的高速发展,精密运动台在各个领域的应用范围越来越广,同时对运动台的测量精度要求越来越高。通常情......
学位
自标定
精密运动台
零位光栅
精密对准系统
辅助测量装置
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