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由田昭武院士原创提出的约束刻蚀层技术(CELT)是一项在微/纳加工领域有着广泛应用前景的电化学加工新技术1.本文将介绍我们发展此......
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为满足对纳米精度的大面积平坦化和批量加工复杂三维纳米结构的需求，本论文从原理创新发展了一种电化学纳米加工方法，其核心在于利用......
