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转移衬底相关论文
高频InP HBT器件研制及转移衬底技术研究
论文针对InP HBT的制造技术及相关理论进行研究,通过对工艺的改进和部分理论的研究,不断提高InP HBT高频性能,工艺的可重复性和可靠性......
学位
异质结双极晶体管
转移衬底
制造工艺
干法刻蚀
高频性能
fMAX为425GHz转移衬底InP/InGaAa/InP双异质结双极晶体管
美国UniversityofCalifornia采用转移衬底技术已研制成fMAX为 4 2 5GHz ,fT 为 14 1GHz的InP/InGaAs/InP双异质结双极晶体管 (DHBT......
期刊
转移衬底
fMAX
双异质结
双极晶体管
DHBT
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