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金属Nb薄膜相关论文
溅射工艺对金属Nb薄膜微结构及红外反射特性的影响
本文采用直流磁控溅射方法,改变溅射功率和溅射气压,在不锈钢基底上制备了金属Nb薄膜.分别采用XRD和傅立叶红外光谱仪对不同工艺参......
会议
磁控溅射
金属Nb薄膜
红外反射谱
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