【摘 要】
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为了适应真空器件微型化的需要,对一种小尺寸的微型溅射离子泵的特性进行研究,探究其抽气效果和微型化应用可行性。运用CST三维电磁场仿真软件对泵内电子飞行轨迹进行模拟,并
【机 构】
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为了适应真空器件微型化的需要,对一种小尺寸的微型溅射离子泵的特性进行研究,探究其抽气效果和微型化应用可行性。运用CST三维电磁场仿真软件对泵内电子飞行轨迹进行模拟,并在真空压强3E-4 Pa到9.5E-2 Pa范围内对这种微型泵进行了特性研究实验,结果说明该微型泵符合传统溅射离子泵规律,同时也证明了其具有一定的抽气效果。
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